半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高端定制公测智能化涉重污废水 ——MVR二次配置零排大型项目
工程背景图片
光电器件高级公测工作,整体规模150m³米/天,是第一例光电器件公测配套方案涉重废气处理零排工作。公测流程的镀镍、镀铜、引线的框架洗会产生含镍含铜废气处理,科技园区需求"无尾水外排",产水基本造纸废水处理于产线。
水质标准症状与突破点
污水以含镍相结合(氨水浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH变化大(2–12),都有光刻胶留的一定量有机肥料物。公测厂地方紧,规定要求治理场地设施占地面小;零排后果着浓水并不能建筑垃圾清运不多,肯定本地服务挥发沉淀开环。
操作方法风格
布局走"分质分类整理 → 预治理 除杂 → 物理乳浊液除镍 → 滤水 → UF+两极RO → MVR立即无限循环汽化 → 冷凝器水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢空气氧化反应钠制成Ni(OH)₂沉垫,后加加硫钠深度的捕集器残余物镍(加硫镍Ksp比氢空气氧化反应镍更小,能能镍压到0.1毫克/升左右);
沉淀物冒水经多材质过滤清洁装置+保卫过滤清洁装置后进UF,再进6级RO,产水可以直接回产线洗掉;
RO浓水(含盐+稳定度巨资属)进MVR直接循坏化掉器,直接循坏能扛高含盐水垢,化掉器自代线家电清洗,材质堵;
MVR冷却水赶回到回收蓄水池,多效蒸发残液委外焚烧秸秆或看做危险废物加工,整体厂内无固体外排。
重要装备优缺点表明
MVR强迫循环往复系统想必一般的降膜化掉,循环往复系统气速高、传热系数面容易结镍盐/碳酸盐垢,适公测此类"发电量并不大但水质量杂"的应用场景;三合一化撬装设置土地征用比传统艺术化掉塘+多效化掉计划小60%上文;怪味侧配建动物滤池,把调池和活性污泥间的怪味处理后化学降解成CO₂和水,以免公测厂紧挨工作区的怪味客户投诉。
操作使用效果与经济效益
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,具有《塑料电镀污染破坏物产生标准》表三;另一个150万m³/天产水回收利用于测封产线难以清理,代用等量清爽水;危险废弃物(化掉残液+污泥干化)量比一般"沉定+产生"状态减约70%。对富士康侧,测封业务低能耗审批卡点暴打通;